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全氟橡膠 FFKM



(Perfluoroelastomer) 其化學單體結構類似於聚四氟乙烯,具有優異的耐化學介質和耐高溫性能。普通全氟橡膠工作溫度為-25℃~240℃。

優點: 
 
最佳耐熱特性
 
優異的抗化學特性 
 
優異的氣密性 
 
抗等離子體特性 
 
缺點: 

耐低溫特性較差
 
原料價格較高 
 
生產加工難度較高 
 
應用領域:
 
全氟係列產品廣泛運用於這種材料主要用於半導體,軍工,航天等尖端領域。運用範圍包含薄膜製程中之PVC, CVD及蝕刻製程及各種高真空密封製程。

 
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